化学蚀刻·在线溶液分析添加控制系统

溶液(蚀刻剂)的控制是化学蚀刻工艺的关键之一,直接关乎蚀刻效率、质量及合格
率。简化投资模式时,出于投资考虑均忽略了这一重要问题,造成了“靠师傅吃饭”的局面。
为破解这这道难题,同时满足日益增长的产能需求,给蚀刻机(线)加配相应的溶液在线控
制添加系统,成为多数企业主的明智选择。
蚀刻溶液在线控制添加系统主要分为两机型:
1、数显式控制系统;
2、人机界面式控制系统。
不论何种机型,均是通过取样系统对工作液进行在线分析,并自动进行相关成分的控
量添加。
溶液在线控制添加系统,可以新机配置,亦可对旧机进行改造。
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